MKP气体流量控制器TSC-150

MKP气体流量控制器TSC-150       MKP气体流量控制器TSC-150
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工作

MKP韩国原装质量流量计数字型大流量质量流量控制器系列是采用数字控制回路，即使大流量也保证了快速响应和高准确度，可以选择多种附加功能。
MKP型号
质量流量控制器
VIC-D210，VIC-D220，VIC-D240，VIC-D245，VIC-D145，VIC-D150  
气体质量流量计MFC
TSM-D200，TSM-D210，TSM-D220，TSM-D230，TSM-D240，TSM-D245，TSM-D250，TSM-D220D
质量流量计
TSC-220，TSC-210，TSC-245，TSC-200，TSC-230，TSC-145，TSC-150，TSC-120  
TSC145-8SW-N2-1000L，TSC150-16SW-N2-2000L

气体质量流量控制器
TSC-D220，TSC-D210，TSC-D245，TSC-D200，TSC-D230，TSC-D145，TSC-D150，TSC-D120 
VIC-D200series
VIC-D210  VIC-D220  VIC-D240   VIC-D245  VIC-D145  VIC-D150
TSC-D200series 
TSC-M245  TSC-M250  TSC-M255
TSM-D200series
TSM-D210  TSM-D220  TSM-D230  TSM-D240  TSM-D245  TSM-D250  TSM-D220D
VIC-D100series
VIC-D145 VIC-D150
CAF-100series
CAF-145  CAF-150  CAF-155
PSC-D200series
PSC-D245 PSC-D255
EPC-D200series
EPC-220  EPC-245
日本千野记录仪CHINO型号：
KR2160-N0A,KR2120-N0A,KR2161-N0A,KR2121-N0A,KR3120-N0A,KR3140-N0A,KR3160-N0A,KR3180-N0A,
KR3121-N0A,KR3141-N0A,KR3161-N0A,KR3181-N0A,KR2160MN0A-1NN,KR2120MN0A-1NN,  KR2161MN0A-1NN,
KR2121MN0A-1NN,KR3S21-N0A-NNN,KR3S41-N0A-NNN,KR3S61-N0A-NNN,KR3S81-N0A-NNN,
KR3120-N0A-1NN,KR3140-N0A-1NN,KR3160-N0A-1NN,KR3180-N0A-1NN,KR3121-N0A-1NN,
KR3141-N0A-1NN,KR3161-N0A-1NN,KR3181-N0A-1NN,KR2P60MN0A,KR2P20MN0A,KR2P61MN0A,
KR2P21MN0A,KR3P20-N0A,KR3P40-N0A,KR3P60-N0A,KR3P80-N0A,KR3P21-N0A,KR3P41-N0A,KR3P61-N0A,
KR3P81-N0A,AL4706-N0A-NNN,AL471P-N0A-NNN,AL472P-N0A-NNN,AL473P-N0A-NNN,AL474P-N0A-NNN,
KL4106-N0A,KL4206-N0A,KL4506-N0A,KR2S2P-N0A,KL4606-N0A,AH4706-N0A-NNN,AH4712-N0A-NNN,
AH4724-N0A-NNN,AH471P-N0A-NNN,AH472P-N0A-NNN,AH473P-N0A-NNN,AH474P-N0A-NNN,
KR2S6P-N0A,KR2S2P-N0A,AL4706-N0A-NNN,AH4706-A0A-NNN,ELSD25-000,ELSD35-000,DB1030B000-G0A,

产品介绍
它通常由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器管道、机壳、调节阀等部件组成。
它的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源提供。质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。
 
韩国MKP原装进口质量流量计优势：
通过表面EP处理，产品有优秀的抗腐蚀性
由于User Interface底盘通讯速度及可能Mac ID设定
模拟与数字通讯都可用（Analog,RS485，DeviceNet ,Profibus）
MGMR功能（多气体，多量程）

产品参数：
MARU 5000  量程范围5sccm-50slm
流量测定范围：2%-**满量程
精度：≤±0.35%满量程（5%-35% Flow Range）/≤±1%读数（35%-** Flow Range）
响应时间：<1sec
重复性：≤±0.15%满量程
正常工作压力：50-300Kpa
较*作压力：450Kpa
零点稳定性：<±0.5%F.S./年
温度系数：0.01%满量程/℃
泄漏率：1X10-11Pa.m�0�6/sec（He）
阀门类型：常闭
密封形式：金属
数字接口：RS485，DeviceNet ,Profibus
信号类型：模拟0-5V，数字RS485，总线Devicenet、Profibus
电源：+15-24VDC
温度范围：5-50℃
预热时间：30min
材质：STS-316L电解抛光/真空退火（0.1ｕm Ra）

质量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。